合肥高投:计算光刻领域唯一,全芯智造获奖!
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合肥高投:计算光刻领域唯一,全芯智造获奖!

近日,在第二十六届中国国际工业博览会上,合肥高新区投资平台合肥高投投资企业全芯智造技术股份有限公司(以下简称“全芯智造”)自主研发的计算光刻平台ASEDAC PST荣获首届“CIIF国芯展创新成果奖”,成为计算光刻领域唯一获奖产品。

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集成电路制造流程中,光刻环节直接决定图形能否精准转移到晶圆上。全芯智造的ASEDAC PST平台拥有完全自主知识产权,是国内少数支撑先进制程工艺的国产计算光刻解决方案,可灵活接入不同软件模块,实现从OPC建模、仿真、修正到验证的全流程覆盖,助力芯片制造企业加快新制程研发、提升工艺良率。

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目前,全芯智造已建成计算光刻、工艺器件建模仿真、设计制造协同优化、良率管理四大平台多款点工具,覆盖制造类EDA全流程,累计取得授权发明专利156项、软件著作权62项。

近年来,高新区聚焦集成电路产业,布局高端装备、先进封装、化合物半导体、IC设计等方向,初步形成覆盖设计、制造、封装测试、装备材料及配套服务的全产业链格局,集聚全芯智造、芯碁微装、伏达半导体等集成电路重点企业超200家,产业集聚效应日益凸显。高新区将持续完善集成电路产业生态,强化要素保障,优化创新服务体系,助力企业稳步前行。

新闻延展

中国工博会创办于1999年,是经国务院批准的、唯一具有评奖功能的大型工业博览会,也是国内展览规模最大、国际化程度最高的工业展会之一。本届“国芯展”创新成果奖由院士专家组与行业龙头企业技术总工组成联合评审团,围绕技术原创性、产业引领性、自主可控水平、量产落地价值等维度遴选,是当前半导体领域含金量较高的行业创新荣誉。

来源:合肥高投